Étude de la nucléation et croissance des films minces réalisés par MOD

Abstract

Ce mémoire de master est consacré à la théorie de la nucléation et de la croissance dans les couches minces élaborées par la chimie douce utilisant la méthode pour les métalloorganique MOD (Metal Organic Deposition). Nous avons relaté les différents comportements de la nucléation et de la croissance dans les films minces au cours de la pyrolyse. Une comparaison de la nucléation en régime dynamique a été faite par simulation. Dans la partie expérimentale on a l’effet de la vitesse de montée sur la taille des grains afin de trouver la vitesse de montée adéquate pour avoir le meilleur compromis entre la taille des grains et la nucléation –croissance dans les films élaborés par MOD.